通過(guò)實(shí)地調(diào)研,結(jié)合工程經(jīng)驗(yàn),采用比較分析的方法,就芯片生產(chǎn)廢水中典型的含氨廢水、含氟廢水、研磨廢水和酸堿廢水的處理分別給出了較優(yōu)的處理工藝流程,即濃氨吹脫—兩段沉淀—三級(jí)酸堿中和處理工藝,其處理效果較好,將含氟廢水與CMP 研磨廢水混合處理可節(jié)省投資。同時(shí),介紹了設(shè)備選型中應(yīng)注意的問(wèn)題。

關(guān)鍵詞：芯片生產(chǎn)廢水，設(shè)備選型，含氟廢水

自2000 年國(guó)家“十五”規(guī)劃的行業(yè)鼓勵(lì)性政策出臺(tái),中國(guó)芯片產(chǎn)業(yè)掀起一輪前所未有的投資熱潮,全球著名的芯片廠商,如德州儀器、英特爾、AMD等,紛紛在中國(guó)建立合資或獨(dú)資公司。然而關(guān)于芯片生產(chǎn)廢水排放的國(guó)家和地方標(biāo)準(zhǔn)尚未出臺(tái)。本文結(jié)合工程實(shí)例,通過(guò)調(diào)研分析得出最優(yōu)工藝流程,并指出設(shè)備選型中應(yīng)注意的問(wèn)題。具體參見http://m.northcarolinalenders.com更多相關(guān)技術(shù)文檔。

完整內(nèi)容請(qǐng)見附件：芯片生產(chǎn)廢水處理工藝